對于潔凈室的塵源，除了來自室外大氣的塵粒和進(jìn)入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外，潔凈室內(nèi)的發(fā)塵源主要來自于潔凈室內(nèi)操作人員，潔凈室的圍護(hù)和潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵。
1、潔凈室內(nèi)作業(yè)人員的產(chǎn)塵。作業(yè)人員的產(chǎn)塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業(yè)人員本身的動(dòng)作有關(guān)。因此，潔凈室內(nèi)的作業(yè)人員必須穿規(guī)定的工作服而且動(dòng)作也要受到一定的限制。
通常情況下，一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動(dòng)作時(shí)，人員的產(chǎn)塵量為3.5 ~ 5.0×10⁵個(gè)/人·分（≥0.5µm）。是潔凈室內(nèi)的zui主要的發(fā)塵源。
2、潔凈室圍護(hù)和室內(nèi)表面的產(chǎn)塵。隨著潔凈室裝修材料的發(fā)展，耐磨、抗靜電、少產(chǎn)塵的材料出現(xiàn)，潔凈室內(nèi)建筑產(chǎn)塵量越來越小。一般認(rèn)為潔凈室單位建筑面積產(chǎn)塵為3 ~ 5.0×10⁴ /m²·分（≥0.5µm）?？梢?0平方米建筑產(chǎn)塵只相當(dāng)一個(gè)作業(yè)人員的產(chǎn)塵量。
3、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵：這一產(chǎn)塵量與設(shè)備和生產(chǎn)過程本身有直接關(guān)系。不同設(shè)備、不同生產(chǎn)工藝的產(chǎn)塵量差別極大。在日本的資料介紹，一臺(tái)電動(dòng)機(jī)的產(chǎn)塵量大約為4.5 ~ 45×10⁴個(gè)/臺(tái)·分（≥0.5µm）。